東莞市精準機電科技有限公司
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間接分割器(Dicer)是半導體行業(yè)中常用的切割工藝工具,用于將晶圓切割成單個芯片。與常規(guī)的直接分割器(Scriber)不同,間接分割器采用了一種更加安全和可靠的切割方式。下面將詳細介紹為什么間接分割器在半導體工藝中廣泛使用的原因。
1.安全性:
直接分割器在切割過程中需要施加較大的力量,通常使用鉆石刀片通過直接擠壓和劃割晶圓來實現分割。這種方式存在一定的安全隱患,因為刀片可能在切割過程中破裂或跳出,導致傷害和破壞晶圓。而間接分割器采用了激光切割或離子束切割等非接觸式分割技術,不需要直接接觸晶圓,極大地提高了操作安全性。
2.切割質量:
直接分割器在切割過程中容易產生切割線上的毛刺、晶圓的邊緣損傷以及裂紋等問題,這對于半導體芯片的性能和可靠性有一定的影響。而間接分割器使用的非接觸式切割技術可以更準確地控制分割線的位置和形狀,能夠實現更加平整和精細的分割,提高芯片的質量和可靠性。
3.生產效率:
直接分割器的切割速度受到刀片的限制,需要較長的時間來完成分割過程。而間接分割器采用的激光或離子束切割技術快速有效,可以大大提高生產效率。此外,間接分割器還可以實現多芯片的同時切割,進一步提高生產效率。
4.適用范圍:
直接分割器的切割范圍受限于刀片的尺寸和形狀,只能適用于較小尺寸的晶圓。而間接分割器在切割過程中沒有受到刀片形狀和尺寸的限制,可以適應不同大小和形狀的晶圓,具有更大的適用范圍。
綜上所述,間接分割器在半導體清洗工藝中廣泛使用,主要是由于其安全性高、切割質量好、生產效率高以及適用范圍廣等優(yōu)勢。這些特點使得間接分割器成為半導體行業(yè)中不可或缺的重要工具。